一种激光整形装置及其激光退火装置.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.21万字
约 12页
2023-11-15 发布于四川
举报
版权申诉

一种激光整形装置及其激光退火装置.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种激光整形装置，包括：激光发生器，用于输出激光；均化系统，位于所述激光的光路径上，所述均化系统包括衍射透镜，所述衍射透镜设有多道狭缝，所述衍射透镜用于将所述激光的高斯光束转变为平顶光束。还公开了一种光学整形方法及激光退火装置。本发明使用衍射光整形匀化光束方法，能够使能量传输效率高于90％，同时光斑边缘锐度更高。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117060203 A (43)申请公布日 2023.11.14 (21)申请号 202311002479.8 (22)申请日 2023.08.09 (71)申请人瑶光半导体（浙江）有限公司地址