一种磁控溅射靶材制备方法及其加工转运装置.pdfVIP

下载本文档

1
0
约9.44千字
约 9页
2023-11-15 发布于四川
举报
版权申诉

一种磁控溅射靶材制备方法及其加工转运装置.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供的一种磁控溅射靶材制备方法及其加工转运装置，涉及溅射靶材技术领域，其特征在于，通过真空感应熔炼炉将原料进行充分混合，然后通过浇铸、机加工与铜板包覆；一种磁控溅射靶材加工转运装置包括车架和工作台，所述车架的外形为长方体，且两侧带有车轮，所述工作台的下端面通过升降架与车架活动连接，其特征在于，还包括机械手，所述机械手的下方带有滑轨，所述滑轨的下端面带有固定螺栓与工作台固定连接，所述安装座与移动座滑动连接，所述固定臂的两侧对称设有旋转电机，所述旋转电机的内侧带有机械臂杆。本发明的优点：产品电

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117049153 A (43)申请公布日 2023.11.14 (21)申请号 202311059962.X C23C 14/35 (2006.01)