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本发明涉及靶材生产技术领域，公开了一种氧化锌靶材的制备方法，该方法通过将粒径为1～3微米的小颗粒氧化锌与粒径为3～5微米的大颗粒氧化锌按1.5～4：1的质量比混合，得到混合后的氧化锌物料；再将混合后的氧化锌物料真空热压，得到热压毛坯；最后将热压毛坯烧结，得到氧化锌靶材，由该制备方法制得的氧化锌靶材，不仅具有较高的相对密度，同时在制备过程中，通过对各项参数的调整，我们惊喜地发现当各参数为一特定值时，对相对密度的提升最为明显。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117049869 A
(43)申请公布日 2023.11.14
(21)申请号 202311012658.X
(22)申请日 2023.08.11
(71)申请人 先导薄膜材料（广东）有限公司
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