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一种提高太阳电池转换效率的方法 0 晶硅电池薄膜减反射测试结果图1 太阳能照明设备技术是将光能转换为能耗的技术，其核心是在半板基上形成的pn结。太阳能光伏系统中最重要的部分是太阳能电池,它是收集光能的基本发电单位。太阳能电池分为晶硅电池和薄膜电池两类,由于晶硅电池具有原材料储量大和转换效率高的特点,因此晶硅电池仍然是目前太阳能电池的主流。 晶硅电池的减反射膜一般为Si N薄膜,其结构与短距离的化学键有关。减反射膜对晶硅电池很重要,其作用主要体现在减少太阳光的反射和表面钝化两个方面。图1所示为减反射膜的光学结构。 对晶硅电池来讲,太阳光从空气射入晶硅电池,空气的n0=1,硅材料的nsi=3.8,折射率的计算公式如下: 由该公式可计算出减反射膜的n=1.9。 薄膜对应的光谱波长的计算公式如下: 减反射膜的平均厚度d一般为85nm,因此,其对波长λ为646nm的太阳光减反射效果最佳。而太阳光属于复色光源,其光谱范围为150~4 000nm。在确定的薄膜折射率和厚度的情况下,薄膜只能对特定波长的太阳光起到较好的减反射效果,对其他波长的光则起不到较好的减反射效果。本文设计了一种新型太阳能减反射膜,采用折射率不断变化的减反射膜,能有效降低反射率,增加光生载流子的生成数量,提高太阳能电池的转换效率。 1 等离子体化学气相沉积与一体的薄膜沉积技术 等离子体增强化学气相沉积(PECVD),是一种利