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- 2023-11-18 发布于四川
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本发明涉及化学机械研磨领域，特别是涉及一种研磨液的混液供应装置，包括混合组件、供应桶、供压组件；所述混合组件包括旋转节流阀；所述旋转节流阀包括板面紧密贴合的下方固定板及上方旋转板；在前端第一腔室的对应区域内设置有研磨原液预留孔，在前端第二腔室的对应区域内设置有水流预留孔；所述上方旋转板上设置有混合通过孔；所述混合通过孔、所述水流预留孔及所述研磨原液预留孔均排列在距所述上方旋转板的旋转轴预设半径的圆上；所述上方旋转板的旋转位置不同，与所述水流预留孔或所述研磨原液预留孔重合的混合通过孔的数量也不同。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117067110 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202311262337.5
(22)申请日 2023.09.27
(71)申请人 上海集成电路研发中心有限公司
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