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本发明公开了圆柱形结构介电层的柔性触觉传感器的设计与制备，所述柔性触觉传感器依据平行板电容器原理制成，其特征在于：它包含柔性传感元件阵列结构，柔性传感元件的数量为m×n个，所述的单个柔性传感元件结构包含上电极层、上柔性板、介电层、下柔性板和下电极层，介电层为阵列的圆柱形微结构，圆柱间隙由气体或悬浊液填充，以提高柔性传感器的灵敏度。所述传感器具有灵敏度高、响应快和迟滞小等特性，不仅可以实现法向力实时检测，还可以实现切向力实时检测，从而实现对任意方向三维力进行实时检测。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117073871 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202310553430.5
(22)申请日 2023.05.16
(71)申请人 南京林业大学
地址 210037
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