原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种基于磁流体的防抖动型同心两轴真空机器人传动结构，包括机器人手臂组件、磁流体组件、传动组件和丝杆螺母连接件；传动组件设置在所述磁流体组件的底部，传动组件底端与丝杆螺母连接件固定连接；磁流体组件包括磁流体外轴和磁流体内轴；传动组件包括伺服电机一和内轴连接件；当伺服电机一通过谐波减速机二带动磁流体外轴旋转时，磁流体内轴和磁流体外轴同时旋转时，机器人手臂组件做旋转运动。因此，本发明通过一个伺服电机控制机器人手臂的旋转，有效避免了多电机同步运动时造成的抖动问题，减少了晶圆在搬运过程中的脱落风险。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117067193 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202311206643.7 (51)Int.Cl .
文档评论（0）