一种炉管保温桶及炉管恒温系统.pdfVIP

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2023-11-18 发布于四川
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本实用新型提供了一种炉管保温桶及炉管恒温系统，涉及半导体掺杂领域。炉管保温桶包括具有开口的保温桶体、与保温桶体开口形状一致的保温桶顶盖；保温桶顶盖设置于保温桶体的开口处；保温桶体与保温桶顶盖连接并形成保温桶密封腔体；其中，保温桶体包括保温桶壁与保温桶底部；保温桶桶壁罩设于保温桶底部；保温桶密封腔体内填充保温材料；可替代了现有技术中炉管口的阻气板，并通过在内部填充保温材料有效保证了温度的一致性，使得扩散炉中掺杂产品的参数稳定一致，同时将该炉管保温桶设置在扩散炉炉管口预设位置，使得该炉管保温桶具有广

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220034743 U (45)授权公告日 2023.11.17 (21)申请号 202321569860.8 (22)申请日 2023.06.19 (73)专利权人捷捷半导体有限公司地址 22