旋转靶端头检漏设备.pdfVIP

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2023-11-18 发布于四川
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旋转靶端头检漏设备.pdf

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本实用新型提供了一种旋转靶端头检漏设备，包括固定支撑架、真空室、真空底座、旋转靶端头检漏装置、输出管，所述固定支撑架上设有真空室，所述真空室内部设有真空腔，所述真空室上安装有旋转靶端头检漏装置，所述真空室底部设有真空底座，所述真空底座一端与所述真空腔连通，所述真空底座另一端与所述输出管连通，本实用新型的有益效果在于：通过检漏装置上的检漏探头对真空室内的氦气进行检漏，并且检测气密性，结构简单，性能稳定可靠，检漏操作过程便捷，成本低。

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220039737 U (45)授权公告日 2023.11.17 (21)申请号 202321100312.0 (22)申请日 2023.05.09 (73)专利权人广东多特光电科技有限公司地址