一种用于钨丝线切割硅片全流程废水处理方法.pdfVIP

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2023-11-18 发布于四川
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一种用于钨丝线切割硅片全流程废水处理方法.pdf

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本发明公开了一种用于钨丝线切割硅片全流程废水处理方法，包括将切割液废水通入废水调节池均质后进入厌氧生物处理单元，废水中大部分有机物被厌氧微生物降解去除；出水进入芬顿处理单元，部分难降解有机物进入芬顿反应器，在羟基自由基的强氧化下破环断链，芬顿出水进入综合调节池；同时，脱胶及排片清洗废水采用混凝沉淀和高效溶气气浮；切割液废水和脱胶及排片清洗废水经过各自预处理单元后，与生活废水以及ROR浓水混合均匀后进入水解酸化池；最后通过好氧微生物菌群进一步降低COD，出水通过气浮深度处理后实现稳定达标排放。本发

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117069325 A (43)申请公布日 2023.11.17 (21)申请号 202311207185.9 C02F 3/34 (2023.01)