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本发明公开了一种二极管加工用化学抛光设备，包括外箱体和设置在外箱体内部的抛光液箱，本发明涉及二极管加工技术领域。该二极管加工用化学抛光设备，通过震荡组件和抖动组件的设置，便于带动抛光液箱上下和左右的往复运动，进而使得内部的晶片能不断翻动，使得晶片抛光速度快、抛光彻底，同时搅拌组件能对抛光液进行搅拌，通过不断来回转动的方式进行搅拌混合，使得抛光液与晶片充分接触，同时密封组件有效防止废气溢出，配合吸收组件的设置，便于对抛光液箱内部的废气进行集中收集，防止废气对加工环境造成影响，整个过程只需普通的伺服
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117080113 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202310708380.3
(22)申请日 2023.06.15
(71)申请人 珠海芯承科技有限公司
地址 51
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