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本发明涉及激光加工装置和评价方法。激光加工装置包括:振荡器,该振荡器使激光振荡;镜,其中在作为激光的一部分的第一激光被透射通过镜的同时,作为激光的另一部分的第二激光被反射,以用第二激光照射加工对象部分,并且作为第二激光由加工对象部分反射的反射光的一部分的第一反射光被透射通过镜;吸收单元,该吸收单元接收并吸收第一激光直到第一激光的量变得等于或小于预定光量为止;传感器单元,该传感器单元测量第一反射光的强度;以及质量评价单元,该质量评价单元基于测量结果输出表示在加工对象部分处的激光加工的质量的评价结果
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117066683 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202310425748.5
(22)申请日 2023.04.20
(30)优先权数据
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