一种Cr/CrN/CrN-TiAlN/TiAlN-CrAlN/CrAlN纳米陶瓷复合涂层及其制备方法.pdfVIP

一种Cr/CrN/CrN-TiAlN/TiAlN-CrAlN/CrAlN纳米陶瓷复合涂层及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种Cr/CrN/CrN‑TiAlN/TiAlN‑CrAlN/CrAlN纳米陶瓷复合涂层及其制备方法,该纳米陶瓷复合涂层依次由过渡Cr层、硬化CrN层、混合相CrN‑TiAlN层、混合相TiAlN‑CrAlN层和三元CrAlN层组成。制备的方法是采用等离子技术依次将Cr、CrN、CrN‑TiAlN、TiAlN‑CrAlN和CrAlN沉积在热作模具表面,通过偏压、靶电流、气压、气体流量、沉积温等镀膜参数,控制镀膜厚度、各个单层膜柱状晶的尺寸,得到最佳综合性能的复合陶瓷涂层。制备得的复合

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117070896 A (43)申请公布日 2023.11.17 (21)申请号 202310823108.X (22)申请日 2023.07.06 (71)申请人 东莞塔夫纳米科技

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