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一种气动式高精度电感位移传感器.pdfVIP

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  • 2023-11-22 发布于四川
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一种气动式高精度电感位移传感器.pdf

    本发明提供了一种气动式高精度电感位移传感器，属于几何量校准技术领域。本发明提供一种气动式高精度电感位移传感器，包括测头组件、导向组件、复位组件、线圈组件、气动组件。所述导向组件对导杆进行导向，有效增加传感器的导向精度和结构稳定性，同时确保导杆与气动组件中下圆弹片内卡盘内柱面的配合满足气密性要求。本发明通过导向组件对导杆进行导向，通过气动组件和复位组件配合实现导杆的往复运动，通过测头组件实现与被测面的接触，通过线圈组件实现位移量到电感量的转化，是一种可自动往复运动、高精度、适用于自动化测量的电感位

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117091487 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202310291487.2 (22)申请日 2023.03.23 (71)申请人 中国航空工业集团公司北京长城计

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