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- 2023-11-22 发布于四川
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本实用新型的实施例提供了一种挡板、喷淋组件及半导体工艺设备，涉及半导体制作技术领域。挡板具有中部区域以及环绕中部区域的边缘区域，挡板的中部区域设有第一气流孔，挡板的边缘区域设有第二气流孔，第一气流孔和第二气流孔均用于减缓气流速度，且第一气流孔减缓气流流速的程度大于第二气流孔减缓气流流速的程度。在单点进气的情况下，中部区域相对于边缘区域更靠近单一进气孔道，使流经挡板的气流分散的同时，使经过半导体工艺设备的喷淋孔板的气流速度相同或近似相等，避开了调整喷淋孔板的孔分布以及孔的形状，成本更低，加工时间短
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 220057020 U
(45)授权公告日 2023.11.21
(21)申请号 202321477362.0
(22)申请日 2023.06.09
(73)专利权人 拓荆科技(上海)有限公司
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