1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约1.6万字
  • 约 16页
  • 2023-11-22 发布于四川
  • 举报

一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置.pdf

    本实用新型涉及一种集成硅片棱边和上下表面缺陷检测装置，包括第一线扫相机组件、第二线扫相机组件、反射组件以及沿着硅片输送方向设置的第一隧道光源、条形高亮光源和第二隧道光源；第一隧道光源用于给硅片的上表面打光，第二隧道光源用于给硅片的下表面打光，条形高亮光源用于对硅片的前棱边和后棱边打光；条形高亮光源发出的光路经过反射组件分别反射至第一线扫相机组件和第二线扫相机组件，只用一个条形高亮光源即可实现对硅片的前棱边和后棱边的收集，实现光源少且光路简洁；同时硅片通过第一输送流线和第二输送流线输送，依次对硅片

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220063874 U (45)授权公告日 2023.11.21 (21)申请号 202321682480.5 (22)申请日 2023.06.29 (73)专利权人 珠海广浩捷科技股份有限公司 地址

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >