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一种基于MEMS技术的高线性度反射镜.pdfVIP

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  • 2023-11-22 发布于四川
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一种基于MEMS技术的高线性度反射镜.pdf

    本发明公开了一种基于MEMS技术的高线性度反射镜，包括底座，安装于底座之上提供稳定磁场的对称永磁体，与底座配合安装的外壳，通过螺栓与外壳，底座一体连接的环形帽，与外壳配合安装的反射镜面，镜面背部布置有电极，通过控制电极电流即可将不对称的电极受力转化为转角输出，本发明还公开了该反射镜的闭环控制过程，同时本发明具有结构紧凑，尺寸小，易于装配的特点。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117092810 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202311116012.6 (22)申请日 2023.08.31 (71)申请人 西安交通大学 地址 710049

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