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高效率真空获取装置.pdfVIP

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  • 2023-11-22 发布于四川
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高效率真空获取装置.pdf

    本实用新型涉及一种高效率真空获取装置，在低真空度抽取装置上并联低真空度抽取装置；在低真空度抽取装置与高真空度抽取装置之间设置高低真空度切换装置；高低真空度切换装置将若干个低真空度抽取装置切换成同时工作；达到真空度后，高低真空度切换装置将其中一个低真空度抽取装置切换成与高真空度抽取装置并行工作，使得其中一个低真空度抽取装置为高真空度抽取装置维持真空；解决了在现有的真空获取装置中，用作分子泵的维持泵的旋片泵仅做为维持泵来使用，分子泵启动的时间滞后以及导致真空获取装置抽取真空的效率不高的技术问题。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220059865 U (45)授权公告日 2023.11.21 (21)申请号 202321668876.4 (22)申请日 2023.06.28 (73)专利权人 上海福宜真空设

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