离子注入角度测量装置及离子注入系统.pdfVIP

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2023-11-22 发布于四川
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本公开涉及半导体技术领域，提出了一种离子注入角度测量装置及离子注入系统。离子注入角度测量装置用于测量离子束注入的角度，包括：第一测量组，第一测量组包括多个第一法拉第杯，第一法拉第杯包括第一开口端；第二测量组，第二测量组包括多个沿第二方向设置的第二法拉第杯，第二法拉第杯包括第二开口端；地线，地线与各个第一法拉第杯和各个第二法拉第杯电连接；多个电流测量部，分别位于地线和各个第一法拉第杯之间，以及地线和各个第二法拉第杯之间。第一法拉第杯和第二法拉第杯可以同时获得不同方向的离子束，从而可以同时对离子束不

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117096005 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202210517546.9 (22)申请日 2022.05.12 (71)申请人长鑫存储技术有限公司地址 23