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体声波谐振器及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-11-22 发布于四川
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体声波谐振器及其制造方法.pdf

    提供了一种BAW谐振器，包括：谐振腔，位于衬底内；叠层结构，包括底部电极层、压电层、顶部电极层和钝化层，依次设置在衬底上以覆盖有源区内的谐振腔，其中顶部电极层在有源区外的连接区内与衬底之间具有空隙。依照本发明的BAW谐振器及其制造方法，在连接区内顶部电极与衬底之间形成空隙，防止声波能量从顶部电极泄漏，提高了谐振器品质。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111510092 A (43)申请公布日 2020.08.07 (21)申请号 20201

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