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- 2023-11-26 发布于重庆
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四川东材新材料有限责任公司
年产200 吨超高纯电子专用材料项目
环境影响报告书
(公示本)
四川嘉源绿意环保科技有限公司
二○二三年十月
年产200 吨超高纯电子专用材料项目 概述
概 述
一、项目由来
光刻胶又称 “光致抗蚀剂”,是一种用于光刻的载体介质,可以通过光化学反
应,经曝光、显影等光刻工序将所需要的微细图形从光罩(掩模版)转移到待加
工基片上。光刻胶是电子领域微细图形加工的关键性材料,在半导体、LCD 、PCB 、
微机电等行业领域的生产中具有重要作用。光刻胶属于技术和资本密集型行业,
目前核心技术主要掌握在日、美等国际大公司手中,全球供应市场高度集中,日
本JSR 等五家龙头企业占据全球光刻胶市场 87%的份额。同时,海外龙头已实现
高端制程量产,其中日本主要厂商已实现领域内最先进的EUV 光刻胶的量产,以
陶氏、德国默克、锦湖石化为代表的其他光刻胶厂商也已实现ArF 光刻胶的量产。
我国光刻胶行业起步较
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