一种喷淋组件、沉积设备的反应器及其进气排气系统.pdfVIP

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2023-11-25 发布于四川
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一种喷淋组件、沉积设备的反应器及其进气排气系统.pdf

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本发明提供了一种喷淋组件、沉积设备的反应器及其进气排气系统，所述喷淋组件设置在反应器的腔体内，包括设置在所述腔体上部的气体通道板和设置在腔体内的喷淋头，气体通道板上设有气体入口和气体出口；气体入口设置在气体通道板上位于腔体的中心部，气体出口设置在偏离中心部的位置，喷淋头包括设有若干喷淋孔的第一区域及设有若干排气孔的第二区域，喷淋孔使气体扩散腔和反应腔流体连通，排气孔与气体出口流体连通；通过调节第一区域内喷淋孔的尺寸、形状及分布，和/或调节第二区域内的排气孔的尺寸、形状及分布，以调节反应腔内工艺气

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117107217 A (43)申请公布日 2023.11.24 (21)申请号 202311105333.6 (22)申请日 2023.08.29 (71)申请人研微（江苏）半导体科技有限公司地