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多探针测试机构.pdfVIP

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  • 2023-11-25 发布于四川
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多探针测试机构.pdf

    本发明公开一种多探针测试机构，其安装于驱动支架上的光电探测器，位于测试台外侧的光电探测器的收光面位于朝向测试台，光电探测器的收光面与测试台之间还设置有一棱镜，测试探针组件包括：与驱动支架连接的本体、位于本体下方的悬板和安装于悬板一端的探针座，探针座上安装有用于与待测试芯片电接触的探针，本体与悬板之间通过一竖直设置的弹性件连接，悬板中部上方安装有一铰接轴，垂直于悬板长度方向设置的铰接轴包括主体部和位于主体部两端的凸缘部，铰接轴的主体部上方两侧设置有平行安装于本体上的第一销轴、第二销轴。本发明提高对

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117110827 A (43)申请公布日 2023.11.24 (21)申请号 202210534795.9 (22)申请日 2022.05.17 (71)申请人 苏州联讯仪器股份有限公司 地址

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