1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

氮化物同质外延的原位检测系统及方法.pdfVIP

  • 6
  • 0
  • 约1.68万字
  • 约 15页
  • 2023-11-25 发布于四川
  • 举报

氮化物同质外延的原位检测系统及方法.pdf

    本发明公开了一种氮化物同质外延的原位检测系统及方法。所述的方法包括：在第一半导体层上同质外延生长第二半导体层时，同时以第一、第二入射光持续照射第二半导体层的表面，并使第一入射光在所述第二半导体层的表面被散射，以产生第一散射光，且使第二入射光入射所述第二、第一半导体层，以产生第二散射光；对第一、第二散射光进行实时检测和分析，实现对所述第二半导体层的厚度和所受应力的原位检测。利用本发明的系统和方法，可以兼顾氮化物同质外延层厚度和所受应力的测量，有效克服现有技术中无法原位检测氮化物同质外延层的厚度，且

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117109456 A (43)申请公布日 2023.11.24 (21)申请号 202311374261.5 G01L 1/24 (2006.01) (22)申请日 2023.10.2

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >