基于相变材料的微环谐振波长校准结构.pdfVIP

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2023-11-25 发布于四川
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基于相变材料的微环谐振波长校准结构.pdf

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本发明公开了一种基于相变材料的微环谐振波长校准结构与调谐方法，属于光电子器件领域，包括：基底、置于所述基底上的下包层、置于所述下包层上的光波导所组成的微环谐振器、置于所述微环谐振器部分段上的由相变材料薄膜形成的微环谐振波长校准结构。通过脉冲引导微环谐振波长校准结构中相变材料薄膜相变，精确调控相变材料薄膜折射率相变量，进而改变校准结构中波导有效折射率，直至调控微环谐振波长移动至目标波长。通过调脉宽、脉幅可精确控制整段相变量或者通过编码调节分段相变量，精确补偿微环由加工误差引起的波长漂移，从而几乎消

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117111222 A (43)申请公布日 2023.11.24 (21)申请号 202311116343.X (22)申请日 2023.08.31 (71)申请人华中科技大学地址 430074