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本发明公开了一种兼容型的晶圆夹持搬运装置，包括：末端手指和末端手臂，所述末端手指固定在末端手臂中；所述末端手臂包括固定组件和移动组件，所述固定组件固定在末端手臂中，所述移动组件滑动设置在固定组件中，所述移动组件中设置有晶圆紧固件；当末端手指中晶圆尺寸不同时，所述移动组件移动至移动组件不同位置处实现不同尺寸晶圆的夹持。本发明的目的在于提供一种兼容型的晶圆夹持搬运装置和方法，能够实现多种尺寸晶圆的夹持搬运，兼容性强，调节方便。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117116843 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202311138049.9 H01L 21/677 (2006.01)
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