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微 纳 制 造 ——21世纪制造技术的突破 报告人：林冬青 材硕1501班 M201570806 2015/11/19 内 容 微纳技术的概念 微纳制造技术的发展现状 典型的微纳结构制造技术 微纳制造的应用及未来发展方向4123 微纳制造的概念1.微纳制造的概念 微纳制造技术是指制造纳米、微米量级的三维结构、器件和系统的技术。是关于微系统和纳米技术的统称。 1）微系统 是指集成了微电子和微机械（或光学、化学、生物等方面微原件）的系统。它以微米尺度理论为基础，用批量化的微电子技术和三维加工技术来完成信息获取、处理及执行等功能。 微系统按特征尺寸范围分为三类：1mm-10mm微小机械，1μm-1mm的微机械，1n-10μm的纳米机械。 2）纳米技术 是指纳米级0.1nm-100nm的材料、设计、加工、测量、控制和产品的技术。 2.微纳技术的提出 随着制造业的发展对加工精度提出了越来越高的要求，传统机床的加工精度已经远远不能满足飞速发展的消费及军工领域的要求，如电子硅芯片、大规模集成电路，以及对表面粗糙度要求很高的液晶面板等，于是，人们把眼光投入到精度更高的加工技术上，从最初的毫米级，到微米级(千分之一毫米)，到纳米级(千分之一微米