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第十一章 半导体材料 第十一章半导体材料 制备 制备 1 第 1 页 共 58 页 生长技术 生长技术 n 体单晶生长技术 n 体单晶生长技术 单晶生长通常利用籽晶在熔融高温炉里拉伸得到 单晶生长通常利用籽晶在熔融高温炉里拉伸得到 的体材料 ，半导体硅的单晶生长 以获得电子级 的体材料，半导体硅的单晶生长 以获得电子级 （99.999999% ）的单晶硅 99.999999% （ ）的单晶硅 n 外延生长技术 n 外延生长技术