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- 2023-11-29 发布于四川
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本发明涉及石墨坩埚生产技术领域，尤其是涉及一种三代半导体用等静压石墨坩埚生产用焙烧固定装置，包括框架，所述框架的中段高度处固定有隔热板，且框架的上侧等间距固定有多个承载板，还包括：多个固定支撑机构，多个所述固定支撑机构分别固定在多个承载板的上侧。本发明通过蒸汽驱动机构带动多个坩埚换位机构运行，焙烧时坩埚换位机构可以不断地对坩埚进行间断的转动，不仅使其各个位置可以均匀受热，提高焙烧均匀度，避免受热不均碎裂，而且可以避免在坩埚自身重力作用下，导致坩埚外侧与支撑托板接触位置受到挤压变形而产生压痕，降低
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117128768 A
(43)申请公布日 2023.11.28
(21)申请号 202311394264.5 F22B 33/18 (2006.01)
(22)申请日 2023.10.
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