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金属-绝缘体-金属（MIM）电容器模块.pdfVIP

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  • 2023-11-29 发布于四川
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金属-绝缘体-金属（MIM）电容器模块.pdf

    本发明提供了一种金属‑绝缘体‑金属(MIM)电容器模块。该MIM电容器模块包括形成在下部金属层中的底部电极基部、导电地耦合到底部电极基部的底部电极、形成在底部电极上的平坦绝缘体以及形成在绝缘体上的上部金属层中的顶部电极。该底部电极包括杯形底部电极部件和形成在由杯形底部电极部件限定的内部开口中的底部电极填充部件。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117136648 A (43)申请公布日 2023.11.28 (21)申请号 202280027206.6 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公

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