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一种基于波长修正的光学散射测量方法.pdfVIP

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  • 2023-11-29 发布于四川
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一种基于波长修正的光学散射测量方法.pdf

    本发明提供一种基于波长修正的光学散射测量方法，包括：获取一组待提取结构参数的原始测量光谱SP和对应的形貌结构；通过调整形貌结构中的浮动结构参数和修正公式的参数对波长点序列进行修正，并基于LM非线性回归方法，在该方法的每一次迭代中，计算正向建模光谱，将建模光谱和测量光谱对比，通过不断迭代调整浮动结构参数和修正公式参数，直到建模光谱和测量光谱接近匹配，获取从原始测量光谱SP中提取到的结构参数。本发明对波长点进行修正，很好地解决了实际测量光谱中波长点不稳定因而造成实际结构参数提取时拟合较差的问题。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117128875 A (43)申请公布日 2023.11.28 (21)申请号 202311220188.6 (22)申请日 2023.09.20 (71)申请人 武汉颐光科技有限公司 地址 43

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