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- 2023-11-29 发布于四川
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本申请提供一种滤波元件及其制备方法、滤波器及其制备方法以及射频模组，其中滤波元件包括压电晶圆、导电图案、金属层、金属结构、支撑结构、上盖层和保护层。滤波元件制备方法包括：围绕主动功能区设置金属层；在金属层的表面设置多个金属结构；围绕主动功能区在金属层的表面上形成支撑结构，至少部分支撑结构位于金属结构和主动功能区之间，支撑结构为有机材料；在支撑结构上形成上盖层，上盖层、支撑结构以及压电晶圆围绕主动功能区形成空腔结构，上盖层为有机材料；在上盖层远离空腔结构的表面上设置保护层，保护层沿上盖层和支撑结构
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117134728 A
(43)申请公布日 2023.11.28
(21)申请号 202311373638.5 H03H 9/64 (2006.01)
(22)申请日 2023.10.2
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