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一种基于玻璃熔合技术的MCS压力传感器及其制做方法.pdfVIP

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  • 2023-11-29 发布于四川
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一种基于玻璃熔合技术的MCS压力传感器及其制做方法.pdf

    本申请涉及压力传感器技术领域，具体公开了一种基于玻璃熔合技术的MCS压力传感器及其制做方法，一种基于玻璃熔合技术的MCS压力传感器，包括弹性基体、熔合层与导电膜层，所述导电膜层上蚀刻有形成桥路的单元图案；所述导电膜层通过熔合层粘接在弹性基体上；所述熔合层由玻璃绝缘材料制得。本申请制备的压力传感器可在高温环境中长期使用，具有高的稳定性与精度。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117129119 A (43)申请公布日 2023.11.28 (21)申请号 202311398027.6 (22)申请日 2023.10.26 (71)申请人 西安中星测控有限公司 地址 71

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