激光衍射测量和莫尔条纹技术演示文稿.pptVIP

* 莫尔条纹测试技术 1、莫尔条纹测量位移 将被测几何量转换为莫尔条纹的变化 将莫尔条纹的变化经过光电转换系统转换为电信号 光栅传感器示意图 1-灯；2-聚光镜；3-标尺光栅；4-指示光栅；5-硅光电池 长度测量---长光栅 * 本文档共40页；当前第31页；编辑于星期六\7点32分 a、测量原理 b、零位光栅 记录波形变化周期数（条纹移动数）N，光栅的位移量x=Nw c、辨向与细分 a)标尺光栅 b)指示光栅 c)零位脉冲 * 本文档共40页；当前第32页；编辑于星期六\7点32分 角度测量---圆光栅 d)径向圆光栅；e)形成的条纹；f)径向光栅条纹解析图 a)切向圆光栅；b)形成的环形条纹；c)切向光栅条纹解析图； * 本文档共40页；当前第33页；编辑于星期六\7点32分 切向圆光栅 径向圆盘光栅 条纹宽度不是一个定值，随条纹所处位置的不同而有所变化。 条纹宽度上等距分布的各点并不对应于一个节距角内光栅的等距位移。 R为圆光栅上某点的刻划半径；α为圆光栅角节距；r为小圆半径；2s为两光栅中心距。 * 本文档共40页；当前第34页；编辑于星期六\7点32分 光栅式位移测量特点： ①精度高：可达0.1微米 ②大量程测量兼有高分辨力 ③可实现动态测量 ④具有较强的抗干扰能力 * 本文档共40页；当前第35页；编辑于星期六\7点32分 激光衍射测量和莫尔