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- 2023-12-02 发布于四川
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本发明公开了一种用于产品表面污染物的精密定量检测方法,包括:使用环己烷和乙酸乙酯的共沸混合物对产品待检区域进行冲洗,再对收集到的取样溶液进行抽滤,分别获得产品的表面颗粒污染物和有机污染物,最后对颗粒污染物进行计数,对有机污染物进行称量,便可得到产品表面污染物洁净度等级。此检测方法可用于机械件、光学元件、聚四氟乙烯等不溶于有机溶剂的产品表面污染物的检测,属于精密定量检测,可同时检测颗粒污染物和有机污染物,最后给出产品表面的污染物量级,用以评估产品表面的洁净度等级。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117147365 A
(43)申请公布日 2023.12.01
(21)申请号 202311115526.X
(22)申请日 2023.08.31
(71)申请人 中国工程物理研究院激光聚变研究
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