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镀敷装置和镀敷方法.pdfVIP

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  • 2023-12-02 发布于四川
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镀敷装置和镀敷方法.pdf

    镀敷装置具备：镀敷槽，其用于保持镀敷液；阳极，其配置于上述镀敷槽内，并具有多个贯通孔；基板保持架，其以与上述阳极相向的方式保持基板；隔膜，其紧贴上述阳极的靠上述基板侧的第1面而配置；以及背面板，其是同上述阳极的与上述第1面相反一侧的第2面相向并以规定间隔相对于上述第2面分离而配置的背面板，且对从上述阳极产生并积蓄在上述第2面上的气泡的量进行调节。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117157434 A (43)申请公布日 2023.12.01 (21)申请号 202280005573.6 C25D 21/04 (2006.01)

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