半导体扩散设备汇总.pptxVIP

??1? ???1/1“??(Action) ??(Renovation)”KEC-C ? 5? ??? ??2011. 08. 11 ??1? ???1/1“??(Action) ??(Renovation)”? ? ?? ? ?? ? ? ?? ? ?? ? ? ?BIP DIFF? ? ? ?2011 .08 .11 ~? ? ? ?1 :1 ?? ???? ?? ?? ???? ????? ?作 業 內 容敎 育 內 容備 考8/11FURNACE工作原理TEMPRESS结构组成由Load station. Furnace. Gas Cabinet. Main Power. DPC.DTC.TSC等部分组成业务感想8/12Implant的四个真空DRY PUMP工作原理*I/S: Ion Source Pump*B/L: Beam Line Pump*CYRO Pump*E/S: End Station PumpSource Control界面.Implant SET UP界面了解Beam 波形调整方法8/15Furnace的开、关以及紧急情况对策*设备的POWER ON方法*设备的POWER OFF方法*设备的紧急关闭与开启方法在开启MAINSWITCH时，先要复位（想左旋转）电源的开启一定要严格遵守一定的 顺序，不可颠倒. ? ?作 業 內 容敎 育 內 容備 考8