GB/T 29844-2013用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范.pdf

ICS31.030

L90

中华人民共和国国家标准

GB/T29844—2013

用于先进集成电路光刻工艺综合

评估的图形规范

Specificationsformetrologypatternsforthe

evaluationofadvancedphotolithgraphy

2013-11-12发布

2014-04-15实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会

中作人民共和国

国家标准

用于先进集成电路光刻工艺综合

评估的图形规范

GB/T29844-2013

中国标准出版社出版发行

北京市朝阳区和平里西街甲2号(100013)

北京市两城区三里河北街16号(100045)

网址www.spc,net,cn

总编室：(010发行中心：(010读者服务部：(010中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷

各地新华书店经销

开本880×12301/16印张0.75字数20千字

2014年1月第一版2014年1月第一次印刷

书号：155066·1-47913定价16.00元

如有印装差错由本社发行中心调换

版权专有侵权必究

举报电话：(010)6