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氮化物基半导体双向切换器件和其制造方法.pdfVIP

氮化物基半导体双向切换器件和其制造方法.pdf

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    本公开提供一种具有衬底电位管理能力的氮化物基双向切换器件。所述器件具有控制节点、第一电力/负载节点、第二电力/负载节点和主衬底，且包括：氮化物基双侧晶体管；和衬底电位管理电路，其配置成用于管理所述主衬底的电位。通过实施所述衬底电位管理电路，可将衬底电位稳定到所述双侧晶体管的第一源极/漏极和第二源极/漏极的电位中的较低一个，而不管所述双向切换器件在哪个方向上操作。因此，所述双侧晶体管可在两个方向上以稳定衬底电位操作以用于传导电流。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN115117055A

    (43)申请公布日2022.09.27

    (21)申请号202210425771.XH01L29/778(2006.01)

    (22)申请日2021.05

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