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2023-12-06 发布于四川
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一种图案化ZIF-8薄膜及其制备方法.pdf

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本发明公开了一种图案化ZIF‑8薄膜及其制备方法，制备方法包括以下步骤：配置锌基树脂前驱体溶液；使用旋涂机将锌基树脂前驱体溶液均匀地扩散到硅片表面并成膜，然后使用长波紫外线透过图案化掩模版对硅片表面的膜进行照射，使硅片表面膜固化生成图案化丙烯酸锌‑丙烯酸共聚物有机膜，然后对图案化丙烯酸锌‑丙烯酸共聚物有机膜进行洗涤处理；采用高温热处理法将图案化丙烯酸锌‑丙烯酸共聚物有机膜转化为图案化多孔氧化锌薄膜；采用化学气相沉积法将图案化多孔氧化锌薄膜和2‑甲基咪唑粉末进行反应转化为图案化ZIF‑8薄膜。本发

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117164928A

(43)申请公布日2023.12.05

(21)申请号202311089360.9

(22)申请日2023.08.28

(71)申请人南京邮电大学

地址210003

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