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蒸镀装置以及蒸镀基板分离方法.pdfVIP

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  • 2023-12-06 发布于四川
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蒸镀装置以及蒸镀基板分离方法.pdf

    本发明涉及一种蒸镀装置，包括：蒸镀冷却板；第一支撑机构，所述第一支撑机构设置于所述蒸镀冷却板的下方，并用于支撑基板且带动所述基板朝向或远离所述蒸镀冷却板移动；第二支撑机构，所述第二支撑机构设置于所述第一支撑机构的下方，并用于支撑掩膜版且带动所述掩膜版朝向或远离所述蒸镀冷却板移动；吸附机构，所述吸附机构设置于所述蒸镀冷却板的上方，并用于吸附所述掩膜版以使所述蒸镀冷却板、所述基板以及所述掩膜版依次贴合；以及静电消除机构，所述静电消除机构用于消除所述基板上的静电。本发明可以解决蒸镀完成后分离基板时，基

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN115369358A

    (43)申请公布日2022.11.22

    (21)申请号202111049322.1

    (22)申请日2021.09.08

    (71)申请人广东聚华印刷显示技术有限公司

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