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本发明属于微机电传感器技术领域，公开了一种超快响应室温石墨烯基二氧化氮传感器，从下至上依次包括绝缘衬底、电极、介质层和石墨烯敏感层；石墨烯敏感层经紫外光调控进行NO2传感，紫外光的波长为250～300nm，光功率密度为10～100mw/cm2。本发明利用紫外光调控敏感膜辅助NO2传感，紫外光可以提高石墨烯的费米能级，增加石墨烯与NO2的吸附能，从而提高响应速度。这种基于紫外光辅助照射下的石墨烯基气体传感器可在室温下实现对NO2的超快响应，对2‑20ppmNO2的响应时间均在5s以下并且具有良好
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117191885A
(43)申请公布日2023.12.08
(21)申请号202311062270.0
(22)申请日2023.08.22
(71)申请人天津大学
地址300
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