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- 2023-12-09 发布于四川
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本发明公开一种基于改进遗传算法的亚分辨率辅助图形布局优化方法。将亚分辨率辅助图形参数视为一个个体的多段基因；由m个个体构建种群；然后依次进行交叉、变异操作；将变异后子代个体的基因组转换成对应亚分辨率辅助图形参数；通过光刻模拟软件将亚分辨率辅助图形插入到测试主图形中，然后通过光刻模型对插入后测试主图形进行曝光模拟并输出模拟结果；对迭代后期个体的适应度F进行修正，然后筛选出最优个体。本发明对于求解多极值问题相比于传统求解方法性能更优，求解得到的结果更加准确，并且遗传算法求解速度更快。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117195815A
(43)申请公布日2023.12.08
(21)申请号202311181848.4
(22)申请日2023.09.13
(71)申请人浙江大学
地址310030
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