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本申请公开一种通孔桥接缺陷预测方法、装置和计算机可读介质，其中方法包括：基于集成电路通孔层分别位于两层版图上的通孔构建计算单元，每个计算单元对应一通孔对，每个通孔对由分别位于两层版图上的两个通孔形成；根据套刻误差波动范围，预测每个计算单元的通孔对桥接与非桥接的通孔位置分界线；根据通孔位置分界线，预测各计算单元的通孔对的安全区域；根据套刻误差的变动统计特征，确定安全区域内各计算单元的通孔不发生桥接缺陷的概率，以确定通孔桥接缺陷概率的预测结果。本申请通过将套刻误差的变动统计特征引入通孔桥接缺陷的预测
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117215158A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202311170677.5
(22)申请日2023.09.11
(71)申请人广东省大湾区集成电路与系统应用
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