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本发明涉及一种用于热处理期间、尤其是激光加工期间光辐射(5)的光谱分辨检测的装置。该装置包括分别在一个预定波长范围内光敏的至少两个元件(4.1、4.2)、反射式衍射光栅(2)和至少一个用于聚焦和准直的透镜(3)。该装置可选地包括反射分束器(1),其被设计成将入射光辐射(5)分成多个分光束(5.1、5.2)。所述反射分束器(1)沿光辐射(5)的传播方向设置在至少一个透镜(3)的上游。分光束(5.1、5.2)通过衍射光栅(2)被光谱分离,并且至少第一级衍射通过至少一个透镜(3)向后偏转到光敏元件(4
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117222875A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202280031871.2(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限
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