课件_4.2-2光栅位移传感器原理及应用.pptVIP

机械设计制造及自动化专业教学资源库机械设计制造及自动化专业教学资源库机械制造与自动化专业教学资源库模板来自于/*光栅的概念光栅位移传感器的结构光栅位移传感器的特点及应用目录光栅位移传感器的工作原理—莫尔条纹一、光栅的概念图4-9光栅由大量等宽等间距的平行狭缝组成的光学器件称为光栅，如图4-9所示。用玻璃制成的光栅称为透射光栅，它是在透明玻璃上刻出大量等宽等间距的平行刻痕，每条刻痕处是不透光的，而两刻痕之间是透光的。一、光栅的概念用不锈钢制成的光栅称为反射式光栅。光栅的刻痕密度一般为每毫米10、25、50、100、250线。刻痕之间的距离称为栅距W。设刻痕宽度为a，狭缝宽度为b，则一般情况下取图4-9光栅一、光栅的概念一、光栅的概念二、光栅位移传感器的工作原理—莫尔条纹图4-10莫尔条纹莫尔条纹——如果把两块栅距W相等的光栅面平行安装，且让它们的刻痕之间有较小的夹角θ，这时光栅上会出现若干条明暗相间的条纹，这种条纹称莫尔条纹，如图4-10所示莫尔条纹是光栅非重合部分光线透过而形成的亮带，它由一系列四棱形图案组成，图4-10中d-d线区所示。f-f线区则是由于光栅的遮光效应形成的。图4-10