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;激光加工的原理;激光的产生;固体激光器;激光加工的特点和应用;激光的应用;;材料;激光加工设备;电子束加工装置;电子束加工的应用;电子束加工的应用;特点;;离子束加工设备与电子束加工设备类似，包括离子源、真空系统、控制系统等，主要区别在于离子源系统。
离子源用以产生离子束，其离子产生的原理和方法是使原子电离。具体为：把要电离的气态原子（如氩气等惰性气体或金属蒸气）注入电离室，经过高频放电、电弧放电、等离子体放电或电子轰击，使气态原子电离为等离子体。再用一个相对于等离子体为负电位的电极（称为吸极），就可以从等离子体中吸引出正离子束流。目前常用的离子源有：考夫曼型离子源和双等离子管型离子源;特点;应用;
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