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一种多激光晶体的串接对准装置及方法.pdf

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    本公开提供一种多激光晶体的串接对准装置及方法，装置包括：沿光路依次设置的参考光源、光源整形部件、返回光观察部件、光程差调节部件及透射光观察部件；参考光源向光路中提供参考光；光源整形部件调整参考光的发散角；调节光程差调节部件，使第一激光晶体和第二激光晶体对参考光的返回光在返回光观察部件上发生干涉，形成干涉现象；在透射光观察部件上观察参考光透射激光晶体后形成的光斑；若出现了明暗相间的条纹，并且所述透射光观察部件上的光斑完整且边缘清晰，判断出第一激光晶体和第二激光晶体处于对准状态。本申请通过干涉条纹来

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117239531A

    (43)申请公布日2023.12.15

    (21)申请号202311023120.9

    (22)申请日2023.08.14

    (71)申请人中国科学院微电子研究所

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