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调焦装置.pdfVIP

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    一种调焦装置，包括激光光源、第一分光元件、第二分光元件、聚焦透镜、成像透镜和检测模块；其中：激光光源：用于输出检测光束，该检测光束经第一分光元件后入射到第二分光元件；第二分光元件：一面用于接收激光加工光束并透射到下方，并通过聚焦透镜将激光加工光束汇聚于激光加工表面；另一面用于接收检测光束，并通过聚焦透镜将检测光束汇聚于激光加工表面；其中通过聚焦透镜汇聚于激光加工表面的激光加工光束和检测光束光路同轴；第一分光元件，用于收集激光加工表面的、经过聚焦透镜和第二分光元件后，同光路返回的汇聚点辐射光，并通

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220178394U

    (45)授权公告日2023.12.15

    (21)申请号202220641987.5

    (22)申请日2022.03.23

    (73)专利权人广州德擎光学科技有限公司

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