皮秒激光应用简介.pptVIP

超短脉冲激光及应用打孔、切割、材料去除材料刻蚀透明材料加工避免CO2及纳秒激光钻孔所伴随的微裂纹及碎屑产生皮秒激光钻孔，实现边缘、侧壁的光滑加工，防止应力集中、材料碎裂PhotonicsIndustries相对空气湿度50%，气温40oC，相对湿度90%，气温20oC（气温必须高于露点以防止凝露）??环境气温在+5oC到+40oC（环境气温应保持缓慢的变化）??根据现场环境设置水冷机在不同季节设定的温度??建议的水冷机设定温度为：19C/27C建议设备应放置在无尘室（千级以下）工作冷却水的纯度是保证激光输出效率及激光器聚光腔组件寿命的关键，使用中应每周检查一次内循环水的电导率，每月必须更换一次内循环的去离子水。随时注意观察冷却系统中离子交换柱的颜色变化，一旦发现交换柱中树脂的颜色变为深褐色甚至黑色，应立即更换树脂.皮秒激光

原理及工业应用刘良清光学工程师武汉凌云光电科技有限责任公司1、皮秒激光原理简介2、皮秒激光应用领域简介3、皮秒激光类别对比4、皮秒激光切割选型5、皮秒激光的保养维护说明报告目录一、皮秒激光原理简介1、飞秒超短脉冲激光结构复杂、成本高昂、稳定性难以保证、维护困难、后续光学系统要求高激光加工：皮秒脉冲VS飞秒脉冲飞秒脉冲产生原理皮秒激光器：行波脉冲放大结构简单、成本适中、稳定性较好、后续光学系统要求低2、皮秒超短脉冲激光SESAMMLOSCAmp175-750MHz30ps14W7WAmp2Pre-ampHR~1W~28W~42WAmp3~56W皮秒超短脉冲激光产生光路结构1OSCFCLMPVSHGISOROTHRHRHRHRDMDMOutputHRPBSBDl/2l/2皮秒超短脉冲激光产生光路结构2皮秒激光加工：影响激光加工效果的主要参数二、皮秒激光应用领域简介皮秒激光加工：影响激光加工效果的主要参数皮秒激光加工：各种激光加工手段的主要用途皮秒激光加工：典型激光加工光源皮秒激光加工——“冷”烧蚀皮秒脉冲激光加工优点结构简单、效费比高、成本适中、重复性好、使用方便典型皮秒激光产品及应用2000kHz20ps1.310W1030nm最大重复率脉冲宽度光束质量M2平均功率波长穿孔/切割烧蚀结构化打标切割聚酰亚胺箔烧蚀CI（G）S薄膜太阳能电池结构化薄膜太阳能电池在阳极铝上的黑色打标利用TruMicro5050型激光器在钛金属板上打孔。其它任何技术都达不到这样高质量的平滑孔壁和锐利边缘。与纳秒或者微秒激光脉冲相比，以皮秒激光脉冲进行材料加工的特点是熔化量降低到最小程度，并且蒸汽压力很高。材料烧蚀被视为纯粹的升华现象。皮秒激光脉冲适用于热影响区（WEZ）特别小的材料加工。例如在对不锈钢和钛材料进行钻孔时，TruMicro5000系列激光器的优点就发挥地淋漓尽致（请看附图）。无论用其它任何技术，都无法使孔壁如此平滑、边缘如此锐利。也不再有温度影响和毛刺，从而无需后续加工处理。利用所使用的螺旋钻孔工艺，在孔壁纵横比达1:10时可以达到任意的锥度，无论是正向、负向还是圆柱形的。硅晶片切割从玻璃衬底上去除0.5μm厚的钼层，进给速度4m/s（结构尺寸20μm）。激光精细加工各种样品展示钢陶瓷硅黄铜紫铜聚四氟乙烯玻璃蓝宝石晶圆钢石英D236T玻璃薄片1064nm14W三、皮秒激光类别对比IPGCoherentTime?Bandwidth-LumentumOperationsLLCEKSPLA-Vilnius,LithuaniaPhotonicsindustriesAttodyneInc.-Toronto,CanadaneoLASEGmbH-Hannover,Germany超快激光器主要制造商400kHz600kHz800kHz400kHz最大重复率200kHz400kHz200kHz200kHz最小重复率0.25J最大脉冲能量10ps10ps10ps脉冲持续时间75μJ500250μJ125μJ最大脉冲能量1,31.31.31.3光束质量M215W100W50W25W平均功率515n